Page 136 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019
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206nm, øùGf 77nm, ¡¢\]Ûı® Ti, øù
ÛÄ ± ® Au, Ô 9 6 ¬ 8 V, 9 . Ù 0 Á ú
2.07J。Î K ^ Ð û À t h < 0 Á 0 ½ ü
[24]
G, ^º90Á。2008k,K.L.Zhangd b
6 6 Pt ±®§¨/01`a [25]
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Fig.6 EnergyconversioncomponentsstructureofPtmetalfilm [25]
Ûı® Pt, ¡¢Õùn, rs 5tu, Ô90
Áý 0.12~0.70mJ。
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2004k, !%d [15] bc< Pt 9¡rs 7t
u, ÄÎ& AP/HTPB, Ô96¬'j 40V, 9
0Á³ 700mJ ´µ。 3)(, Ô9¡¢Ef½
E, +6[)t, ^ºÔ9.Ù0Á)t, 5*E<
¡¢³9oqºWd+,, ^º9)FD½'。
[6]
6 4 Au/Ti /01 SEM s
Fig.4 SEM imageofAu/Tienergyconversioncomponents [6]
[15]
6 7 Pt §¨¡`a
[15]
Fig.7 Thinfilm bridgestructurewithPt
[24] [17,20]
6 5 Pt /01¡¢sC 2006k, -.d bc< Cr 9¡rs 8t
Fig.5 BridgeimageofPtenergyconversioncomponents [24] u, Ô W õ ! Cr ¨ ¡ Õ 3 2388μ m×50.8μ m×
2.5μ m, 6 [ 3 59 Ω ; ! v ò < ¨ ¡ Õ 3
2013k,JongkwangLee [9,25] ÛÄþ±® Pt 23 1930μ m×101.6μ m×2.5μ m, 6[3 12Ω , ®¯t
¡¢H\],7740RS23YZH, bciÄÎ Ä<96¬3 20V, 5A9ÚÛ/。
öã)=Q÷â<õH±®§¨¡/01, rs 6t 2008k, (01d [26] bciî “V” ïC23<
u, ¡¢7Ò3 600μ m×440μ m, ÿF 40μ m, ±®§¨¡, rs 9tu, ^_iÔBCD0E9D
!{3{)¡¢+E3 3600μ m。ÛÄyz 0, `ç., 4±®§¨¡ I <5 6 6 D
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