Page 139 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019
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                                                             3.45Ω , ¼Åo96¬3 6.67V, Co96¬ 8V´
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         Fig.15 Waferlevelpackagingdiagram
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         3 MEMS %&'()*_)`a[bcde


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                                                             6 16 NiCr §¨/01o96ß
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         (AFM) l‚ƒ „;¡ ¢ œ Õ ‘ q ˜ ™ 6 — (SEM)
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         ChineseJournalofEnergeticMaterials,Vol.25,No.5,2017(428-436)  !"#$            www.energeticmaterials.org.cn
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