Page 133 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019
P. 133

4 2 8                                                                 !",#$%,&',()*,+,,-.

         !"#$:10069941(2017)05042809


         MEMS %&'()*+,-./


         ! ",#$%,& ',()*,+ ,,- .
         ( /0123456789 123456:;<=>,/0 0? 710061)


         0 1:/012345678(MicroElectroMechanicalSystems,MEMS) 9:;<=>?@, A MEMS 9:;BCDE)FD
         <GHIJKL, MNOPQ78<IJRAS)TU<。VWX/01<YZE6[\]^_、 `abcdef,ghijk
         l MEMS 9:;/01<mnop^_。qri MEMS 9:;/01<stuvwx:MEMS 9:;/01<bcyz{|}
         ~/01D0€<‚ƒ„。…†: ‡ˆ4‰Š、 ‹ŒŠ、 Ž0ŠE)FD< MEMS9:;/01Al^_<‘’。3
         MEMS 9:;/01<bc^_“”•–—˜,™š›4œf<‘žŸ D}~¡¢6[ D^_。£3¤¥¦0§¨¡/0
         1A MEMS 9:;/01<©OGHop{ª。
         234:45678(MEMS) 9:;;/01;§¨¡;¡¢`a
         5678$:TJ55                        !9:;<:A                     DOI: 10.11943/j.issn.10069941.2017.05.013








                                                                 + ã , -, ' 0 o 9、  0 . †、 / 0 ) / A
         1 P Q
                                                             MEMS 9:;/01<GHop{ª, Ы¿ë0, «
                                                             1³ MEMS 9:;/0123ñp?4^_, 5A³
           9:;23PQ78<¼o1@, ³½¾<¿À
                                                             Y6•–~bcwx{789³©È<:;。<V`
         0ÁÂÃ2ĝÃo, Ō2Ä, ®ÆÇÈ<Ž0。É
                                                             ¥«1¿ MEMS 9:;/01wx<^_=p, ·H
         ÊPQ4‰Š<op, 45678(MEMS) 9:;z
                                                             >•、 qri MEMS9:;/01<stuvwx:
         ËuÌ, ÍA…YÎ MEMS wxÏÐ MEMS :ÑÒÓ
                                                             MEMS 9:;/01<bcyz{|}~/01D0
         <9:;, Ԝՠ’3/0`aEÖ×`aœf³
                                                             €<‚ƒ„。
         4ØÁ¹, =>Q@œf³ÙÚØÁ¹, 78œf³Ú
                        [1]
         ØÁ¹<9:;          , ÛÄ MEMSÜÝ:Ñ, Þ4o9
                                                             2 MEMS %&'()*+RSTUVW
         6ß、 42à5a、 4 /0 1、 4 Ý Ö、 4 á ⠋ Œ ©
         ã, Ô·H „A`a4‰Š、 /0äåŠEá⋌                            MEMS 9:;/01bc^_?@/01\]^
           [2]
         Š   , æç3èéê9:;。                                    _( YZÐ6[\]AB~ D^_)、 `abc( ¡¢
           MEMS 9:;ëuwxì 20íîïðñòˆó                          `aCDbc~§¨EF0 / GfAŠ) Eyz{|d。
         ô, «¿· H ^ _ õ ö ˆ ÷ « 4 ø Ý w x (MAT) ù            2.1 ()*XY,-
           [3]                     [4-5]
         ú   、 |««û­ü^_W>              、 nšý«þtü5            2.1.1 CZXY
         6üÿ   [6-7] E! «­ü w x ^ _ ÿ    [8-9] d。Ô W, ÷        YZ\]<2Ä·HA23—˜H, 3/0`a
         «})"ê M1006#$< MEMS9:;3%&, G                        “”g¥D0AI<Jã, /y0ÁKL{ª, “/
         ’ñp MEMS /01<`abc, ^_'0o9D0                         0MN, O'o9 0 Á。% P ó ô < Y Z\ ]ˆQ、
         <IJKL;Ô(«û})ÄÎ4)*áâ</01                             7740R S、 T U、 V W d     [7,10] , Ô · H X •  € Y
         bc3·, G’ñpÔ2ÄD0、  „€ƒ„^_。                          ƒ 1。YZ\]BÄZ[AH\Ð MEMS 9:;:Ñ
                                                             ÒÓ、 ¥]<‘^N}~<6[Nd, ©_`a,
         =>?@:20161116;AB?@:20170109
         CDEF:«¬­wG’®¯°Y±(9140C370504150C37175)              ½'<‘^NE<6[N, b‘ÁcÓde‹, )ˆ
         GHIJ:!"(1992-), ², ³´µ¶, ·HX¸ MEMS9:;wx             Mfg0Áhi, O'o90Á。
         <^_。email:15289375652@163.com
                                                               2010k, 4øÝwx(MicroAssemblyTechnolo
         KLMNO:&'(1982-), ², ¹:º», ·HX¸n9:;wx
                                                             gies) ùú³è 54jkäklmùniÔ^y<)"
         <^_。email:rw0192@163.com

         ChineseJournalofEnergeticMaterials,Vol.25,No.5,2017(428-436)  !"#$            www.energeticmaterials.org.cn
   128   129   130   131   132   133   134   135   136   137   138