Page 135 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019
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             « 1 ¿  Û Ä  § Q (polysilicon) Ï ± ® ¯         6.67V, &Æ:3 0.35V。
         (Pt) 236[\], t°’96¬½(40V}m),                         2014k, ÇÈÉd        [22-23] ÛÄÊË̙¾/¿À
         r÷« TRW    [18] 、 | « LAAS [14,19] ± y z †  § Q ¡  |yz† TaN§¨, vMyzqºWY™Íf、 ¿À
                                        [8-9]         [15]
         vŒŽ’9, !«­üwx^_ÿ                  E²³tü             ŽN、 ÎÏËÁÐ40dM TaNÑÒÓNE6[N<
         Ryz† Pt ¡vŒŽ’9, ‡ã€Yƒ 3。«¬­                        IJ=Ãi¨_, ÔÈimÕyz:Ñ;³ÖËE6
         wtü   [17,20] yz† Cr ’9¡, vŒŽ’9, ޒ96               Ó×6Ã؝=Ò9‚, Ԓ9.Ù0Á, ’9
         ¬f¾” 20V´µ。                                         Úۗ˜E。
                                                             2.2 ()*+RS^TU
                                            [8,14-15,18]
         [ 3 «1¿/01’96[\]~bc`a                               2.2.1 ()*+RS
         Table3 Theignitionresistancematerialsanddesignsituationof    MEMS9:;/01A MEMS9:;<=>Q
         energyconversioncomponentsathomeandabroad [8,14-15,18]  μ m
                                                             @, «¿Ü4GU‹{7^_:2, Ô¡¢bc·HÝ
         research         resistance
                                    thicknesswidthspacinglength  ޜÕ`a、 š‘7Ò、 6[¸dKL, ‘q¡¢`a
         institutions     materials
                                                             <bcb‘ÁcÓde‹ßà‘’, fg0Áiž, X
         TRW inAmerican   polysilicon 0.5  20  6    400
         LAASinFrance     polysilicon 0.5  70  50  3600     ,O'o90Á。
         KoreaAdvanceInstitute                                   ì 2003 k ÷ « k ä k l ñ ò, ÷ « á â
                          Pt        0.1   40   40   4000
         ofScience&Technology
                                                             (ARDEC) ã ï ù n i   Ä Î 4 0 o p Q (Micro
         TsinghuaUniversity  Pt     -     30   30   5000
                                                             EnergeticInitiators) á â < MEMS/ 0 1 ` a  €、
                                                             o9ä@}~/01ÐopÖÝÖ<D0åæu7,
           3i¶·[¸'、 o96¬'¹©ºD<±®
         ¡¨/01,2010k, œQ 213t<žŸd                [12-13,21]  op‚ºÐ^_ŒçYƒ 4, èé‚i 4Oêë<ì
                                                             =bc, v¹í†i©ê/01<bcEF}~bc
         ÛÄ»¼½¾/¿À78yzi NiCr §¨, MÔy
                                                             [¸, ví†¡Gf}~6[\]                [16] 。
         2qºW<¿À、 ÁÂ:Ñ=Ãi¨Ä, ^_i§¨G


                                                    [16]
         [ 4 ÄÎ40opQ(MEI) < MEMS /01op‚º
         Table4 ThedevelopmentcourseofMEMSenergyconversioncomponentsusedinmicroenergeticinitiators(MEI) [16]
          ARDEC/Tanner1stgenerationbridges                   ARDEC/Tanner2ndgenerationbridges
                  unit          measuredresistance/ Ω  voltage/V     unit         measuredresistance/ Ω  voltage/V

                                4.7                10                             1.6                3

                                2.8                10                             3.6                4


                                54.6               9                              2.4                2.5

                                2.8                6                              3.6                4

          ARDEC/Tanner3rdgenerationbridges                   ARDEC/Tanner4thgenerationbridges
                  unit          measuredresistance/ Ω  voltage/V     unit         measuredresistance/ Ω  voltage/V
                                                                                                     =1.43
                                1.3                3.0                            1.1
                                                                                                     s =0.068
                                                                                                     =1.54
                                1.8                2.5                            2.3
                                                                                                     s=0.056
                                                                                                     =1.23
                                1.5                2.75                           1.8
                                                                                                     s=0.051
                                                                                                     =1.45
                                1.9                3.0                            1.5
                                                                                                     s =0.213


         ChineseJournalofEnergeticMaterials,Vol.25,No.5,2017(428-436)  !"#$            www.energeticmaterials.org.cn
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