Page 114 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019
P. 114
!"#$%&' PyroMEMS ()*+,-.、 /012345 2 7 1
8^ë, ¾ÓÔ;TÄG:ÙÚÇAT()*+WX
~< Ù Ú, y KK< , Ø < s 6 7.5mg( ρ =
1
- 3
2.1g·cm ), E¯.É()*+WX~<,
ÂZ[6 410.5MPa, C©Û"#%&'de5ÏÄ
,¨ Û Z [ ( 1d e 5 Ï Ä , ¨ Û Z [ 6
310.03MPa), u ¹ y KK < Ø < ; \ 6
1
- 3
2.1g·cm , rs6 7.5mg ,KK<F=8@~
1
DZÙE×()*+W¬)Q。GRSZ<
a.theprototype b.beforeaction
Ø<çï¾ KK<Ø"~<X。
1
3.3 PyroMEMS,-./e.3456789fg
Zs
#
fgÓc,bcdehi, qð 2%&'½¾/
0()*+n*。oXxOPÈ W ¯ < d # À 6 !
, ^OøC¼LW SiO , CW26efW, g
2
^þZCÌüÚ(LPCVD) SiO ÓüÚK
2
LWÎd#, ¨û{çñPh6 3.8Ω , %©Si
;jkl, .^mvinioºgpSnAi c.beforeaction d.afteraction
;)qr,c°st, ^óµÆÙu$, uv @ 8 PyroMEMS ()*+O
c°stv,Îd#, w¾i;Æ, §û{Îd# Fig.8 PhysicalmapsofPyroMEMSS&Amechanism
c, ¨¿ÀÓW^ò#xyüÚLWl26
zÇ, Å]cs,{|Ì%}, F x O P È W ,/
4 Z t
0, .G~ûb¦Ùch©6 1.1Ω ;VWØ<WS
ÕÀ/2, è.^iðqm, ½¾]()*+W
(1) - . Å / 0 K L M = ² h + ° ï ,
,½¾ÌÀ;()*+W676#, RSF$u`
PyroMEMS $%&'()* +, o ? x º Õ ¹ I N S
a¿j, :Ù6RSÉ8ÍóµÆÙu(ICP,In
41¬)Q;C()*+NSNO<9,8@A
ductivelyCouplePlasmaEtch) V () *+W `
¬~Kü[,%31, E¯ MEMS:U,Û*
aLÙC¿j, NSF$u¿j,()*+W:4
+%3。
üD,u;V¼Ø<W÷Õ/2, ½¾]V
(2)^VI-. , PyroMEMS() * + W X
WØ<WÁ()*+W,½¾ÌÀ;ú*;ì,v£ #
%&',YZ[\]^_[\bcde, û{ 2()
6 1.5mm, l6 4mm, RS;ìE/2, @B
* + W % & ' M I Ä , Â Z [ 6
RS/2, è.^iðqm。
310.03MPa, Ä,^_6 47.31g。
¾xOPÈW、 VWØ<W、 ()*+WÁV¼Ø
(3)RSóµÆÙF$u ¯1);*¿
<W D U Ø t , û { PyroMEMS( ) * + n *。 #
j,ç$/0K 2PyroMEMS()*+n*, ÅVn
O 8a ÁO 8c6 Ø t F , PyroMEMS( )* +
*`aKG, oXd5eRS SCB, xO<qSrs
O, O 8b6ØtV¼Ø<W, PyroMEMS()
tu6 1∶9,#vw, ~<×Srstu6 1∶1
*+ , O,
Ø < 6 K K ~ <。 R S ,yz{| / D}{|(C H (NO )OK/KClO ), Å
1
40V/47μ F ,PM¬PgG,PyroMEMS()*+ 6 2 2 3 4
RS 40V、47μ F ,PM¬PgG, GhiI-
N¬ ) Q, » Ý ~ < % 3 ( ) ð ñ , * + ò {
., PyroMEMS $%&'()*+¬)Q, G
2mm, « Ä Ê Ë V , G h i ¢ O 8dI Q。
HK PyroMEMS ()*+-.,Ea4, `»6()
÷GhiE[, -.,#$%&' PyroMEMS()
*+8S{@½\«ÄÊË, /0:4()®Â5
*+5ÏF¬)Q5。
, MEMSÃÄ:K!。
CHINESEJOURNALOFENERGETICMATERIALS !"#$ 2018% & 26' & 3( (267 - 272)