Page 109 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019

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ＹＩＦｕｔｉｎｇ，ＺＨＡＮＧ Ｊｕｆａｎｇ，ＰＥＮＧ Ｌｉａｎｇｑｉａｎｇ，ｅｔａｌ．Ｔｈｅｒｅ
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ａｎｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｍｅｔａｌｓｌａｐｐｅｒｄｅｔｏｎａｔｏｒ［Ｊ］．Ｉｎｉｔｉａｔｏｒｓ＆Ｐｙｒｏｔｅｃｈ ２０１５，５１（ “¡）：１１８ － １１９．
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ｓｅａｒｃｈｏｎｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｏｆｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｓｌａｐｐｅｒｄｅｔｏｎａｔｏｒ［Ｊ］．
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［１７］ＨａｔｔＤ Ｊ．ＡＶＩＳＡＲｖｅｌｏｃｉｔｙｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｓｙｓｔｅｍ ａｔＭＲＬｆｏｒｓｌａｐ
}~［Ｊ］． „JNW，２０１７，３８（２）：２６１ － ２６６．
ｐｅｒｄｅｔｏｎａｔｏｒａｎｄｓｈｏｃｋｗａｖｅｓｔｕｄｉｅｓ［Ｒ］．ＭＲＬＴＲ９１４２，１９９１．
ＬＩＫｅｗｅｉ，ＣＨＵ Ｅｎｙｉ，ＸＵＥＹａｎ，ｅｔａｌ．Ｒｅｓｅａｒｃｈｏｎｅｘｐｌｏｄｉｎｇ
ｆｏｉｌｉｎｉｔｉａｔｏｒｂａｓｅｄｏｎｎｏｎｓｉｌｉｃｏｎＭＥＭＳｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ［Ｊ］．ＡｃｔａＡｒ ［１８］ＤａｖｉｅｓＨ Ｒ，ＣｈａｐｍａｎＤ Ｊ，ＶｉｎｅＴＡ，ｅｔａｌ．Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓａｔｉｏｎｏｆ
ｍａｍｅｎｔａｒｉｉ，２０１７，３８（２）：２６１ － ２６６． ａｎｅｘｐｌｏｄｉｎｇｆｏｉｌｉｎｉｔｉａｔｏｒ（ＥＦＩ） ｓｙｓｔｅｍ［Ｃ］ ∥ ＡＩＰＣｏｎｆｅｒｅｎｃｅ
Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ．ＡＩＰ，２００９，１１９５（１）：２８３ － ２８６．
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ＥｆｆｅｃｔｏｆＢａｒｒｅｌａｎｄＭｕｌｔｉｌａｙｅｒＦｌｙｅｒｏｎｔｈｅＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｓｏｆＭｉｃｒｏＣｈｉｐＥｘｐｌｏｄｉｎｇＦｏｉｌＩｎｉｔｉａｔｏｒ
ＣＨＥＮ Ｋａｉ，ＸＵＣｏｎｇ，ＺＨＵＰｅｎｇ，ＦＵＳｈｕａｉ，ＷＵＬｉｚｈｉ，ＳＨＥＮ Ｒｕｉｑｉ，ＹＥＹｉｎｇｈｕａ
（ＳｃｈｏｏｌｏｆＣｈｅｍｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９４，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆｅｘｐｌｏｄｉｎｇｆｏｉｌｉｎｉｔｉａｔｏｒｗａｓｒｅａｌｉｚｅｄｂｙｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｔｅｃｈ
ｎｏｌｏｇｙ．ＢｒｉｄｇｅｆｏｉｌｏｆＣｕｗｉｔｈ０．４ｍｍ× ０．４ｍｍ× ４．６μ ｍ（Ｌ × Ｗ× Ｈ）ａｎｄｐｏｌｙ（ｍｏｎｏｃｈｌｏｒｏｐｘｙｌｙｌｅｎｅ）（ＰａｒｙｌｅｎｅＣ）ａｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆ
２５μ ｍ／Ｃｕｗｉｔｈａｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆ２μ ｍ ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｆｌｙｅｒｗｅｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｂｙｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓａｎｄｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ
ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．ＴｈｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆＳＵＥＸｄｒｙｆｉｌｍ ｂａｒｒｅｌｗａｓｒｅａｌｉｚｅｄｂｙｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｔｈｒｅｅｋｉｎｄｓｏｆｂａｒｒｅｌｓｗｉｔｈａ
ｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆ０．３９５ｍｍ ａｎｄｄｉａｍｅｔｅｒｓｏｆ０．４０ｍｍ，０．５６ｍｍ ａｎｄ１．００ｍｍ ｗｅｒｅｏｂｔａｉｎｅｄａｎｄｔｈｅｉｒｗａｌｌｖｅｒｔｉｃａｌｉｔｉｅｓｗｅｒｅｇｏｏｄ．Ｔｈｅ
ｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｆｆｉｒｉｎｇｖｏｌｔａｇｅａｎｄｂａｒｒｅｌｓｉｚｅｏｎｔｈｅｖｅｌｏｃｉｔｙｏｆｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｆｌｙｅｒｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄｂｙｐｈｏｔｏｎｉｃｄｏｐｐｌｅｒｖｅｌｏｍｅｔｅｒ（ＰＤＶ）ｍｅａｓ
ｕｒｅｍｅｎｔｓｙｓｔｅｍ．ＴｈｅｄｅｔｏｎａｔｉｏｎｔｅｓｔｓｏｆＨＮＳｅｘｐｌｏｓｉｖｅｓｗｅｒｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔ．Ｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗ ｔｈａｔｔｈｅｖｅｌｏｃｉｔｙｏｆｔｈｅｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｆｌｙｅｒｇｒａｄｕ
ａｌｌｙｉｎｃｒｅａｓｅｓｗｉｔｈｉｎｃｒｅａｓｉｎｇｔｈｅｆｉｒｉｎｇｖｏｌｔａｇｅ．Ｕｎｄｅｒｔｈｅｓａｍｅｆｉｒｉｎｇｃｏｎｄｉｔｉｏｎ，ｏｎｔｈｅｃｏｎｔｒａｒｙ，ｔｈｅｖｅｌｏｃｉｔｙｏｆｔｈｅｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｆｌｙｅｒ
ｇｒａｄｕａｌｌｙｉｎｃｒｅａｓｅｓｗｉｔｈｄｅｃｒｅａｓｉｎｇｔｈｅｄｉａｍｅｔｅｒｏｆｔｈｅｂａｒｒｅｌ，ｉ．ｅ．ｕｎｄｅｒｔｈｅｓａｍｅｆｉｒｉｎｇｃｏｎｄｉｔｉｏｎ，ｔｈｅｖｅｌｏｃｉｔｙｏｆｔｈｅｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｆｌｙｅｒ
ｆｏｒｔｈｅｂａｒｒｅｌｗｉｔｈａｄｉａｍｅｔｅｒｏｆ０．４０ｍｍ ｉｓｔｈｅｍａｘｉｍｕｍ．ＲｅｓｕｌｔｓｏｆｉｎｉｔｉａｔｉｎｇＨＮＳｅｘｐｌｏｓｉｖｅｓｒｅｖｅａｌｔｈａｔｔｈｅｆｉｒｉｎｇｖｏｌｔａｇｅｇｒａｄｕａｌｌｙ
ｄｅｃｒｅａｓｅｓｗｉｔｈｄｅｃｒｅａｓｉｎｇｔｈｅｄｉａｍｅｔｅｒｏｆｔｈｅｂａｒｒｅｌ．Ｃｏｍｐａｒｅｄｗｉｔｈｔｈｅｂａｒｒｅｌｗｉｔｈａｄｉａｍｅｔｅｒｏｆ１．００ｍｍ，ｔｈｅｆｉｒｉｎｇｖｏｌｔａｇｅｏｆｂａｒ
ｒｅｌｗｉｔｈａｄｉａｍｅｔｅｒｏｆ０．４０ｍｍ ｒｅｄｕｃｅｓｂｙａｂｏｕｔ２００Ｖｕｎｄｅｒｔｈｅｃａｐａｃｉｔｏｒｄｉｓｃｈａｒｇｅｃｏｎｄｉｔｉｏｎｏｆ０．２２μ Ｆ．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｂａｒｒｅｌ；ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｆｌｙｅｒ；ｍｉｃｒｏｃｈｉｐｅｘｐｌｏｄｉｎｇｆｏｉｌｉｎｉｔｉａｔｏｒ；ｆｉｒｉｎｇｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ
ＣＬＣｎｕｍｂｅｒ：ＴＪ５５ Ｄｏｃｕｍｅｎｔｃｏｄｅ：Ａ ＤＯＩ：１０．１１９４３／ｊ．ｉｓｓｎ．１００６９９４１．２０１８．０３．０１２

ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＥｎｅｒｇｅｔｉｃＭａｔｅｒｉａｌｓ，Ｖｏｌ．２６，Ｎｏ．３，２０１８（２７３ － ２７８） !"#$ ｗｗｗ．ｅｎｅｒｇｅｔｉｃｍａｔｅｒｉａｌｓ．ｏｒｇ．ｃｎ