Page 111 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019
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         )*+WÁV¼Ø<W。xOPÈWX`ab¦Ùc
         (SCB) d5e, AfS"gGVWØ<W,xO<Á
         ÃÄ<。









                                                                               a.AAdirection




                          a.wholestructure









                                                                     b.schematicdiagram offunctionprinciple
                                                             @ 2 PyroMEMS @%3:lèO]()*+2SlmQRO
                                                             Fig.2 TheprofileofPyroMEMSmicroactuatorandSchematic
                                                             diagram offunctionprincipleofS&Amechanism
                       b.Hierarchicalstructure
         @ 1 PyroMEMS ()*+QRO
         Fig.1 SchematicdiagramsofthePyroMEMSS&A(Safeand
         Arming)mechanism


           O 2a 6 PyroMEMS @%3:h AAçijkl
         èO,PyroMEMS@%3:ºPa()*+X,ÿI
         m‡nA, ›I÷b¦Ùc、 xO<Á~<m‡。O
         2b6()*+2SlmQRO, o2Slm6:(=
         p&S, VWØ<WXÃÄ<]V¼Ø<WXØ<q
                                                                                a.insafestate
         "J*p&, )Hræp&«ÄÊË,J*LM, st
         uxOPÈWRvGO¦w()*+x¶;yz{¬
         ­)Q|}†, ‚v~VWPZ,2SS,SCBd5e
         GOx8VWØ<WX,xO<, xO<x8()*
         +WX,~<, ~<8@A¬~šnDZÙ,
         DZÙ2631€%3()ðñ, F‡«ÄÊË,
         V, œ»×()*+÷(=p&‚6¬­)Qp&。
           ()*+W6 PyroMEMS ()*+,ƒ„nA, o
         2Sº‰ŠVWØ<WXÃÄ<]V¼Ø<WØ<5                                               b.armingstate
         s«…†‡,LM]V, ´D«ÄÊË,(=4ÁE                           @ 3 ˆØ‰<9p&()*+Wh+QRO
         F4。O 3 6ˆØ‰<9†()*+Wq"(=p&                           Fig.3 SchematicdiagramsofS&Alayerwithoutloadingcharge
         Á¬)p&S,h+QRO。( ) * + W , Š \ 6
                                                             )ðñÓ4La«Ä<。()W!‹X4`a‘
         0.5mm, !‹,ƒÁ„Af6 16mm Á 13mm。(
                                                             , TB’, C TB’q(Ø4ú*@;ìÁ“î。ú
         )ðñ†^AŒ‚n,`a%&']!‹ÌŽ, (


         ChineseJournalofEnergeticMaterials,Vol.26,No.3,2018(267 - 272)  !"#$          www.energeticmaterials.org.cn
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