Page 115 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019
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         uv!C：                                               ［１２］ …XŒ． Ojž®PÆ@()Ÿ 1o/0jkop［Ｄ］． Ž
          ［１］ ＳａｎｄｉａＮａｔｉｏｎａｌＬａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓＡｎｎｕａｌＲｅｐｏｒｔ２００４２００５［Ｒ］．  ：Žmjۑ，２０１５．
             ＵＳＡ：ＳａｎｄｉａＮａｔｉｏｎａｌＬａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ，２００５．                 ＨＵＡＮＧ Ｚｈｏｎｇｙｕ．Ｓｔｕｄｙｏｎｔｈｅｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆｐｙｒｏｔｅｃｈｎｉｃａｌ
          ［２］ ＬａｓｔＨＲ，ＤｅｅｄｓＭ，ＧａｒｖｉｃｋＤ，ｅｔａｌ．Ｎａｎｏｔｏｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒｓｃａｌｅ  ｉｇｎｉｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍ ｅｍｂｅｄｄｅｄｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｍｉｃｒｏＳ＆Ａｄｅｖｉｃｅｓａｎｄｉｔｓ
             ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｓｙｓｔｅｍｓ［Ｊ］．ＩＥＥＥＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓｏｎＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓａｎｄ  ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ［Ｄ］．Ｎａｎｊｉｎｇ：ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄ
             ＰａｃｋａｇｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，１９９９，２２（２）：３３８ － ３４３．          Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２０１５．
          ［３］ Ｒｏｂｂｉｎｓ，Ｊｏｈｎ．“ＵｎｉｔｅｄＳｔａｔｅｓＮａｖｙＯｖｅｒｖｉｅｗ．”Ｒｅｐｏｒｔｔｏ４９ｔｈ  ［１３］ ‘’． Ojž()LÙC-.1/0ç$op［Ｄ］． Ž：Ž
             ＡｎｎｕａｌＦｕｚｅＣｏｎｆｅｒｅｎｃｅ（Ａｐｒｉｌ２００５）［Ｒ］．ＮａｖｙＥｎｅｒｇｅｔｉｃｓＥｎ  mjۑ，２０１６．
             ｔｅｒｐｒｉｓｅ．２００５：２ － １１．                                ＺＯＵ Ｚｈｅｎｙｏｕ．ＤｅｓｉｇｎｏｆｉｎｉｔｉａｔｏｒＳ＆Ａｄｅｖｉｃｅａｎｄｉｔｓｐｒｅｐａ
          ［４］ Ｓａｌｅｍ Ａ，ＨａｍａｄａＴ，ＡｓａｈｉｎａＪＫ，ｅｔａｌ．Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎｏｆｕｎｅｘ     ｒａｔｉｏｎ［Ｄ］．Ｎａｎｊｉｎｇ：ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈ
             ｐｌｏｄｅｄｏｒｄｎａｎｃｅ（ＵＸＯ）ｕｓｉｎｇｍａｒｉｎｅｍａｇｎｅｔｉｃｇｒａｄｉｏｍｅｔｅｒ    ｎｏｌｏｇｙ，２０１６．
             ｄａｔａ［Ｊ］．ＥｘｐｌｏｒａｔｉｏｎＧｅｏｐｈｙｓｉｃｓ，２００５，３６（１）：９７ － １０３．  ［１４］ ＤａｖｉｄｄｅＫｏｎｉｎｃｋ．ＰｙｒｏＭＥＭＳ：ＩｍｐｒｏｖｅｄＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄｓ
          ［５］ ＲｏｂｉｎｓｏｎＣＨ．Ｍｉｎｉａｔｕｒｅ，ｐｌａｎａｒ，ｉｎｅｒｔｉａｌｌｙｄａｍｐｅｄ，ｉｎｅｒｔｉａｌｌｙ  ａｎｄＩｇｎｉｔｉｏｎＲｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ［Ｄ］．Ｓｗｉｔｚｅｒｌａｎｄ，２０１２．
             ａｃｔｕａｔｅｄｄｅｌａｙｓｌｉｄｅｒａｃｔｕａｔｏｒ：Ｕ．Ｓ，５７０５７６７［Ｐ］．１９９８．  ［１５］ ＮａｍａｒａＪＦＭ，ＧｉｌｒｏｙＪＰ，ＳｏｒｅｎｓｅｎＥＰ，ｅｔａｌ．ＡＢＡＱＵＳ／
          ［６］ ＰｅｎｎａｒｕｎＰ，ＲｏｓｓｉＣ，ＥｓｔｅｖｅＤ，ｅｔａｌ．Ｄｅｓｉｇｎ，ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｎｄ  ＡＱＵＡａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｔｏｏｆｆｓｈｏｒｅｒｉｓｅｒｓａｎｄｐｉｐｅｌｉｎｅｓ［Ｊ］．Ｍａｒｉｔｉｍｅ
             ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｏｆａＭＥＭＳｓａｆｅｐｙｒｏｔｅｃｈｎｉｃａｌｉｇｎｉｔｅｒｉｎｔｅｇｒａｔｉｎｇ  Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ，１９８５：１９１ － ２０２．
             ａｒｍｉｎｇ，ｄｉｓａｒｍｉｎｇａｎｄｓｔｅｒｉｌｉｚａｔｉｏｎｆｕｎｃｔｉｏｎｓ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭｉ  ［１６］ “”c． •/<8@451€–ç$,op［Ｄ］． (—：(—m
             ｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＭｉｃｒｏｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，２００６，１６（１）：９２ － １００．  jۑ，２０１１．
          ［７］ ＢｅａｍｅｓｄｅｒｆｅｒＭ Ａ，ＣｈｅｎＳ，ＤｅＶｏｅＤ Ｌ，ｅｔａｌ．Ａｎａｌｙｓｉｓｏｆａｎ    ＬＩＵ Ｘｉａｏｗｅｎ．Ｓｔｕｄｙｏｎｃｏｍｂｕｓｔｉｏｎｐｒｏｐｅｒｔｙａｎｄｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａ
             ｏｐｔｉｃａｌｅｎｅｒｇｙｉｎｔｅｒｒｕｐｔｅｒｆｏｒＭＥＭＳｂａｓｅｄ ｓａｆｅｔｙａｎｄ ａｒｍｉｎｇ  ｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｏｆｄｅｌａｙｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ［Ｄ］．Ａｎｈｕｉ：ＡｎｈｕｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ
             ｓｙｓｔｅｍｓ［Ｃ］ ∥ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ ｏｎＭｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇａｎｄＭｉｃｒｏｆａｂｒｉ  ＯｆＳｃｉｅｎｃｅＡｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２０１１．
             ｃａｔｉｏｎ．ＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌＳｏｃｉｅｔｙｆｏｒＯｐｔｉｃｓａｎｄＰｈｏｔｏｎｉｃｓ，１９９９：  ［１７］ ˜k™，š›œ，ž，ó． Ÿ  ＣＬ２０¡<55ûø²þ¢£
             １０１ － １１１．                                           op［Ｊ］． O¡<‘ç，２０１６，３９（１）：３９ － ４２．
          ［８］ ＤａｖｉｄＲ，Ｋｏｅｈｌｅｒ，ＤａｒｒｅｎＡ Ｈｏｋｅ．Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  ＹＡＯ Ｙｉｌｏｎｇ，ＷＵ Ｌｉｚｈｉ，ＴＡＮＧ Ｌｅ，ｅｔａｌ．Ｄｉｒｅｃｔｗｒｉｔｉｎｇｒｕｌｅ
             ｓａｆｉｎｇａｎｄａｒｍｉｎｇａｐｐａｒａｔｕｓ：ＵＳ７０５１６５６Ｂ１［Ｐ］．２００６．        ｏｆｎａｎｏＣＬ２０ｅｘｐｌｏｓｉｖｅｅｎｅｒｇｅｔｉｃｉｎｋ［Ｊ］．ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆ
         ［９］ ＬａｓｔＨＲ，ＤｅｅｄｓＭ，ＧａｒｖｉｃｋＤ，ｅｔａｌ．Ｎａｎｏｔｏｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒｓｃａｌｅ  Ｅｘｐｌｏｓｉｖｅ＆Ｐｒｏｐｅｌｌａｎｔｓ，２０１６，３９（１）：３９ － ４２．
             ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｓｙｓｔｅｍｓ［Ｊ］．ＩＥＥＥＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓｏｎＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓａｎｄ  ［１８］ ‡L，¤¥c． xO<xO45,op［Ｊ］． Ojž，２００１（４）：
             ＰａｃｋａｇｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，１９９９，２２（２）：３３８ － ３４３．          ２２ － ２３，３２．
         ［１０］ ＲｏｂｅｒｔＲＫａｍａｎ．ＭＥＭＳＢａｓｅｄＦｕｚｅＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ［Ｃ］ ∥Ｔｈｅ５８ ｔｈ   ＣＨＥＮＧ Ｙｉ，ＣＨＥＮ Ｓｈｏｕｗｅｎ．Ｓｔｕｄｙｏｎｉｇｎｉｔｉｏｎｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ
             ＡｎｎｕａｌＮＤＩＡＦｕｚｅＣｏｎｆｅｒｅｎｃｅ，２０１５．                       ｏｆｉｇｎｉｔｉｏｎ ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎｓ［Ｊ］．Ｉｎｉｔｉａｔｏｒｓ＆ Ｐｙｒｏｔｅｃｈｎｉｃｓ，２００１
         ［１１］ ＰｅｚｏｕｓＨ，ＲｏｓｓｉＣ，ＳａｎｃｈｅｚＭ，ｅｔａｌ．ＩｎｔｅｇｒａｔｉｏｎｏｆａＭＥＭＳ     （４）：２２ － ２３，３２．
             ｂａｓｅｄｓａｆｅａｒｍ ａｎｄｆｉｒｅｄｅｖｉｃｅ［Ｊ］．ＳｅｎｓｏｒｓａｎｄＡｃｔｕａｔｏｒｓＡ：
             Ｐｈｙｓｉｃａｌ，２０１０，１５９（２）：１５７ － １６７．


         Ｄｅｓｉｇｎ，ＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｎｄＡｃｔｕａｔｉｏｎＰｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆＰｙｒｏＭＥＭＳＳａｆｅａｎｄＡｒｍ ＤｅｖｉｃｅＢａｓｅｄｏｎＳｉｌｉｃｏｎＤｏｕｂｌｅ
         ＳｏｌｉｄＢｅａｍｓ

         ＨＯＵＧａｎｇ，ＺＨＵＰｅｎｇ，ＬＩＹｕ，ＳＨＥＮ Ｒｕｉｑｉ，ＹＥＹｉｎｇｈｕａ
         （ＳｃｈｏｏｌｏｆＣｈｅｍｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９４，Ｃｈｉｎａ）

         Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｍｅｅｔｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓｏｆｍｉｎｉａｔｕｒｉｚａｔｉｏｎａｎｄｈｉｇｈｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙｏｆｗｅａｐｏｎａｎｄａｍｍｕｎｉｔｉｏｎｓａｆｅｔｙｓｙｓｔｅｍ，
         ａｓａｆｅａｎｄａｒｍｉｎｇｄｅｖｉｃｅｏｆｐｙｒｏｔｅｃｈｎｉｃａｌｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ（ＰｙｒｏＭＥＭＳ）ｂａｓｅｄｏｎｓｉｌｉｃｏｎｄｏｕｂｌｅｓｏｌｉｄｂｅａｍｓｗａｓ
         ｄｅｓｉｇｎｅｄ．Ｔｈｅｃｏｍｐｒｅｓｓｉｖｅｓｔｒｅｎｇｔｈａｎｄｏｖｅｒｌｏａｄｓｔｒｅｎｇｔｈｏｆｔｈｅｓｏｌｉｄｂｅａｍ ｉｎｔｈｅｓａｆｅａｎｄａｒｍｉｎｇｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｌａｙｅｒｗｅｒｅｓｉｍｕｌａｔｅｄ
         ｂｙｕｓｉｎｇＡＢＡＱＵＳｓｏｆｔｗａｒｅ．ＴｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｐｒｏｔｏｔｙｐｅｏｆｓａｆｅａｎｄａｒｍｉｎｇｄｅｖｉｃｅｏｆＰｙｒｏＭＥＭＳｗａｓｆａｂｒｉｃａｔｅｄｕｓｉｎｇｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏ
         ｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ（ＭＥＭＳ） ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏ ｔｈｅｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｒｅｓｕｌｔｓ．Ｉｎ ｏｒｄｅｒｔｏ ｓｔｕｄｙｉｔｓａｃｔｕａｔｉｏｎ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ，ｔｈｅ
         Ｓｉ／ＰｂＯ ｍｉｘｔｕｒｅｏｆｍａｓｓｒａｔｉｏａｓ１∶９ｗａｓｓｅｌｅｃｔｅｄａｓｉｇｎｉｔｉｏｎｐｏｗｄｅｒａｎｄｔｈｅＣ Ｈ （ＮＯ ）ＯＫ／ＫＣｌＯ ｍｉｘｔｕｒｅｏｆｍａｓｓｒａｔｉｏａｓ
                                                                           ２
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               ４
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             ３
                                                                                          ４
         １∶１ｗａｓｓｅｌｅｃｔｅｄａｓｇａｓｇｅｎｅｒａｔｏｒ．Ｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗ ｔｈａｔｔｈｅｃｏｍｐｒｅｓｓｉｖｅｓｔｒｅｎｇｔｈｉｓ３１０．０３ＭＰａａｎｄｔｈｅｏｖｅｒｌｏａｄｓｔｒｅｎｇｔｈｉｓ４７．３１ｇ
         ａｓｔｈｅｂｏｈｌｅｎｇｔｈｓｉｚｅａｎｄｗｉｄｔｈｓｉｚｅｏｆｓｉｌｉｃｏｎｄｏｕｂｌｅｓｏｌｉｄｂｅａｍｓｉｎｔｈｅｓａｆｅａｎｄａｒｍｉｎｇｄｅｖｉｃｅａｒｅ３００μ ｍ．Ｔｈｅｄｅｓｉｇｎｅｄ
         ＰｙｒｏＭＥＭＳＳ＆Ａｄｅｖｉｃｅｃａｎｓｕｃｃｅｓｓｆｕｌｌｙｒｅａｌｉｚｅｓａｆｅａｎｄａｒｍｉｎｇｆｕｎｃｔｉｏｎｓ．
         Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｐｙｒｏｔｅｃｈｎｉｃａｌｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ（ＰｙｒｏＭＥＭＳ）；ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ（ＭＥＭＳ）；ｓａｆｅａｎｄａｒｍ
         ｄｅｖｉｃｅ；ｓｉｌｉｃｏｎｄｏｕｂｌｅｓｏｌｉｄｂｅａｍｓ；Ｓｉ／ＰｂＯ ｉｇｎｉｔｉｏｎｐｏｗｄｅｒ
                                          ３  ４
         ＣＬＣｎｕｍｂｅｒ：ＴＪ５５                    Ｄｏｃｕｍｅｎｔｃｏｄｅ：Ａ                ＤＯＩ：１０．１１９４３／ｊ．ｉｓｓｎ．１００６９９４１．２０１８．０３．０１１




         ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＥｎｅｒｇｅｔｉｃＭａｔｅｒｉａｌｓ，Ｖｏｌ．２６，Ｎｏ．３，２０１８（２６７ － ２７２）  !"#$          ｗｗｗ．ｅｎｅｒｇｅｔｉｃｍａｔｅｒｉａｌｓ．ｏｒｇ．ｃｎ
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