Page 105 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019
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                                                                                                     [12]
         N12r$ SU8]^ìPÇ, tMuvS?Dwx                          ZP) PCZ,Í, )'(3"h45a–                      , ʲ
                              [9]
         39yzhL{|}1             。SUEXcd67j~ö                 CuZ—ª&-ŠC-eºÎò3f· p;ŸT
                                                                                                      e
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         Ma–, £4Spî‘hòÕAB;n SUEXc                          Z3ґ1;Ÿn CuZp3žIÜ,ò, äE§'
         dgh-’“”•–, b=D,-./,0!"#3                            ({"C—]ÓÔ3÷Õ6*。
         ws"#。E7]wxyz"h{|?@ (PDV) —                          2.2 ./0123047^_
         a˜€:—™š›, }~f$C!"#‚ƒ$                              67 MEMS JK.åM=D*+,-./,0,
         %&'()*+,-./,0123457˜, =u                            »¼JKÖI×Ø 1。Ø=D+á3*+,-.Ù(
         v/, HNS -Š|Œ)\457˜„…CŒ™。                            ÚÛÜ(、  ~、 Ý@。*+,-./,0Y)'š3
                                                             Þ(×Ø 2†¤。
         2 ./0123047\](^_

         2.1 ./0123047\]
           67 MEMS ?@ABC,-./,03.åM=
         D。뚛(99.6%Al O ) iˆß, uvFGHI?@
                              3
                            2
         QR 4.6μ m g3 Cud§š›ˆßàiS., Sœ
         ‚ƒi 0.4mm(L) × 0.4mm(W) × 4.6μ m(H), :ž
                                                             @ 1 *+,-./,0=DJKÖI
         Ÿi 30~50mΩ ,  ¡‚ƒiSœ¢h3 10£。E7
                                                             Fig.1 Thepreparationprocessflow ofMcEFI
         CVD2— S . à Î Q R g h i 25μ m 3 Parylene
         C,) '(ZS, ¤67FGHIQR 2μ m g3 Cu§
         Sœ ¥ à Î ¦ \ $ PC Z § + PC(25 μ m)/Cu
         (2μ m) %&'(Z。—%&'(Zà[\]^SUEX
         cd=D!"#, !"#ghžŸi 0.40mm、 jk
         žŸ¨©i Ф 0.40mm, Ф 0.56mm, Ф 1.00mm lm。
           '(Ú&/,-Š-ë5Miîpª&8á                       [10] ,
         «a¬­®ª-ŠC^'(3¯°‚ƒ, ±²'(3
         ³d$-Š3~´pÕµ¶C, 45-Š/,¢ü¼
         3Z[b'(ª&-Š3f· PLfÙÚ¸¹
                                         e
               ,
         C τ p º» HNS -Š3/,¼½           [11] ,              @ 2 *+,-./,0)'šÞ(
          n
         pτ p ≥C                                     (1)     Fig.2 ThecomponentphotographsofMcEFI
          e     ini
         %è,C i/,¾¿;«ò§_¾¿C/,ÀÜi 1,
               ini
         ¦§_¿C/,ÀÜi 0。
                                                             3 ./01230456789`a
           —P˜3™š›)Ž¨Á²Â Cu$T&à PC
         Äm"#3'(, \èT&à PC3ÅhLÆ"r                             ,-./,;<ßÙÚÛÜÝÞL,-./,Ý
         §²Â Cu, º»ÇT-Š/,ÈfN-ɲ Cu'                         ÞÄà¨'+。ÙÚÛÜÝޗ,Œ3Cáâò
         (ª&-ŠC-eº,–3f· p, ʁfÙÚ¸                           ÙÚã2:¨ä:, uvò´óôÃu, —/,÷
                                          e
         ¹C τ p ,Œ;ŸT&à PC'(Ëeº3f· p                  e    øèeºÙږ:Ö, «Ùږ:ÖuvS.C, ¦S
         ,, Ê\fÙÚ¸¹C τ p ,Ì。                              .—ïŒ3CáÒ+!{、 åM、 ÕæwMŸeº:
           &²Â Cu'($T&à PC'(ª&-ŠC                           ,-, ,-eº3ÕæwâçèéÈ'(, uv!"#
         3f· p$fÙÚ¸¹C τ p 3AB, ØT&à                       !"'…Sª&/,êT-Š, ëiS. '('šb
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         PC$²Â Cu'&+ PC/Cu%&'(, \è²Â Cu
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         ChineseJournalofEnergeticMaterials,Vol.26,No.3,2018(273 - 278)  !"#$          www.energeticmaterials.org.cn
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