Page 166 - 《含能材料》火工品技术合集 2015~2019
P. 166

!"#$%&'()*+,-./0                                                                                 7 8 7

         !"#$:10069941(2015)08078704


         %&'()*+,-./01234


               1,2        2        2        2        2        1
         ! "      ,#$% ,& ' ,& ( ,) * ,+,-
         (1../01234135,67 ./ 210094;2.891:;0<=5,>? @A 621999)


         5 6:1234567#89*:;(( '() <=>?@ABCD*:(+,-./09EF, GH XIJKI(XRD) D)L
         MNO?PQRIST%'(9@UVWXYZ[\。H]^_U9`ab'(#_*:;(, GH]Lcdefghi
         (PDV) fjZ*:;(k!")lmno+,-.9gp, GHqrstuDvwxZST*:;(+,-.y*z{|} Ⅳ
         9~/€。V[‚, PQRI%Y'(@ABCƒ„)LMNO%Y'(@ABC, )…†‡ 17%, 67g†ˆ
         )LMNO'(9 2.4‰。#_9*:;(+,-./0Š‹„)LMNO%Y*:;(+,-./0, Œy*z{|
         } ⅣŽ9/€‘。
         789:)LMNO;PQRI;'(;-.
         :;<=$:TJ450                       !>?@A:A                     DOI: 10.11943/j.issn.10069941.2015.08.015








                                                             T'(k)*+,-./0`ñ9òó。
         1 L M
                                                             2 NOP<
             *:;(ˆžŸ. ¡9§¨©n, ‡lªž)
         «¬­®, ¯g°˜±²9‡³‡l¢´LA, +,-                          2.1 'Q)*
         .kµ¶·¸g, ‡g¹Ÿ:º»¼*½, t¾žŸ.                              23wôõH)LMNO、 PQRIST%&#
          ¡9¿/。*:;(ÀÁÂÃEFĞŸ. ¡9                             8Zö¦。
         >/Å»H, ÆÇ, H„*:;(9ÀÁÈÉÊËÌ9                              )L M N O 9 ÷ 8 1 _ Ø 4 5 ø ù ú û # 9
                                                                                                        -3
         )*>/, Œ¸%`Í, _ÎÏQ。ÐÑ, H„žŸ.                         ZZS680)LM45Öêø, Îü45p1 2×10 Pa,
          ¡*:;(9ÀÁ›Ž1'。' (9 #$ % &Ò                          )Lý¿† 10kW。
                    [1]         [2]     [3]    [4]
         c, ÓÔNO       、 PQRI     、 lÕ    、 )Ö   ¢, ׈           PQPQRI9÷81 JGP560Uþ‡45c¿
         ÐÑH „ ž Ÿ .   ¡ 9 ' ( # $ % & › Ž 1 N O             /PQPQRIÿ, !À1 99.99%9 Cu!, |."!
                                                                                                    -4
         (evaporation) ?PQ RI (sputtering)  [5-6] S T。N      #´$1 13cm。Îü45p%„ 1.2×10 Pa, %&
         O?PQ R I Ø Ù „ Ú Û Ü Ý 6 7 (physicalvapor           ÜA Ar 9l‹1 0.3Pa, ÜA«€$1 80~90sccm。
         deposition,PVD)。!"9'(#$%&, kÞßàá                    |ü³p1 300℃。
         E F ' ( 9 @ A V W, X â E F Ä ' ( 9 ) * >            2.2 N O
         /  [7] , ׈D„NO'(?PQRI'(D+,-.                           GH)LMNO、 PQRIST%&, k'(|ü
         /09EFãäåÊÝæ923çè。                                   à#8'(, äXY XRDfj。
             1Ç, Î23¬­)LMNO?PQRISTé                            b'(]^_Ô)1 *+9,-.*:;(, "
         ê67%Z'(, wxDvZ¼ëÞ@AVW、
         )…、 )…†ìÅ67g†¢;23Z*:;(k!
         "y*)lmno)*+,-.9gp, äXYZy
         *z{|} Ⅳ9~tu, œÞß?íßàîïðS

         BCDE:20140518;FGDE:20141124
         HIJK:’“(1981-), ”, k•–—23˜, ™23š, ›Žœž             ; 1 *:;(./
         Ÿ. ¡¢£¤¥%¦23。email:guof_caep@163.com
                                                             Fig.1 Shapeofexplodingbridgefoil


         CHINESEJOURNALOFENERGETICMATERIALS                  !"#$               2015% & 23' & 8( (787-790)
   161   162   163   164   165   166   167   168   169   170   171